Содержание.

Введение . 2

Методы защиты р-п-переходов полупроводниковых кристаллов и пластин. 7

Защита поверхности p-n-переходов лаками и эмалями . 8

Эпоскидные смолы . 13

Компаунды на основе эпоксидных смол . 19

Защита поверхности p-n-переходов вазелином и цеолитами . 27

Защита p-n-переходов плёнками окислов металлов 29

Защита поверхности p-n-переходов плёнками нитрида кремния. 32

Защита p-n-переходов легкоплавкими стеклами 37

Защита поверхности p-n-переходов силанированием 42

Защита поверхности р-п-переходов окислением 44

Очистка полупроводниковых приборов перед герметизацией . 50

Состояние и свойства поверхности полупроводников . 52

Методы очистки поверхности полупроводника . 54

Химическая и электролитическая отмывка полупроводников 55

Отмывка в кислотах и щелочах 59

Отмывка во фреонах 60

Отмывка водой 62

Отмывка в ультразвуковых ваннах . 64

Определение чистоты поверхности 68

Контроль качества промывки . 73

Сушка деталей . 74

Контроль герметичности полупроводниковых приборов. 76

Описание технологического процесса 78

Список используемой литературы 82

Введение.

Технология производства полупроводниковых приборов – это техническая наука, занимающаяся изучением физико-химических основ технологических процессов производства электронных прибор и закономерностей, действующих в процессе изготовления этих изделий.

Использование результатов исследований фундаментальных наук и доведение их до инженерного решения применительно к производству изделий электронной техники позволяют разрабатывать новые технологические процессы для серийного и массового изготовления.

Развитие прикладных наук в области получения чистых и сверх чистых материалов, нанесения покрытий, соединения различных материалов, электрофизических и электрохимических методов обработки способствовали совершенствованию полупроводниковой и плёночной технологии, особенно при производстве микросхем.

Повышение качеств изделий требует высокой технологической точности и дисциплины производства, своевременного анализа и корректировки технологического процесса, построения оптимального технологического процесса.

Повышению качеств и стабильности технологических процессов, обеспечивающих массовое производство изделий с воспроизводимыми параметрами, способствует внедрение автоматизированных систем управления с полным исключением человека-оператора и его субъективного влияния на ход технологического процесса.

Создание высокопроизводительных машин и автоматических линий требует знания основ технологии производства, современных методов изготовления деталей и узлов, нанесения покрытий, получение электронно-дырочных переходов, сборки приборов и микросхем и т.п.

Производство изделий электроники состоит из нескольких этапов, в результате проведения которых материалы превращаются в готовые изделия.